第4 章 コンパウンドに係る現状と評価

第4 章 コンパウンドに係る現状と評価

RCFを利用した半導体等製造冶具の製品化に向けて、当該用途、グレードに応じた製品開発と、効率的・合理的な運転管理(量産化考慮)の検討を行う。

具体的には、コンパウンドの製品化、マーケットを絞り込んだグレード開発、コンパウンド成形性の確認評価を行う。